粒徑小于10μm的顆粒物稱為可吸入顆粒物，長期吸入有毒性的煙塵會引起中毒，例如含游離二氧化硅的煙塵易引起塵肺病，長期吸入錳塵能引起中毒性肺炎，長期吸入附著3，4-苯并芘的顆粒物可發生肺癌。特別是粒徑在0.5～5μm之間的微粒容易進入肺部沉積，并可能進入血液而到達全身，導致心管病。煙塵、粉塵是影響環境空氣質量的首要污染物，是我國實施總量控制的重點污染物之一，特別是對固定污染源排放的顆粒物，所以在煙氣在線監測系統中，顆粒物在線監測是非常重要的一部分。

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